[21a-C310-1~12] 6.4 Thin films and New materials

[21a-C310-2] Cross-sectional Observation of Cr-N Thin Film Strain Sensor Devices based Stainless Steel Substrate using Coating Type Clay Insulating Layer

〇Eiji Niwa¹, Shinya Hayashi², Ichiro Sugai², Yukinori Noguchi², Takashi Iijima³, Osamu Tanaike³, Takeo Ebina³ (1.Denjiken, 2.Ichinen Chemicals, 3.AIST)

Keywords:coating type insulating layer, clay, Cr-N thin film

金属基材上への薄膜センサ形成に必要な絶縁層として，簡便で安価に形成できる新規塗布型粘土絶縁膜が期待されている。著者らはこれまで，その粘土膜が絶縁膜として良好な密着性，表面平滑化機能，電気的性質を有すること，その絶縁膜を用いたステンレス基板Cr-N薄膜ひずみセンサ素子が高感度で安定なひずみ計測を可能とすること等を報告した。本報では，その薄膜センサ素子の断面観察結果について報告する。