[21a-E319-1~5] 6.5 表面物理・真空

[21a-E319-3] 無酸素Pd/Tiを利用した非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプの開発

〇菊地 貴司¹、佐藤 裕太²、宮澤 徹也³、大野 真也²、間瀬 一彦^1,3 (1.KEK物構研、2.横国大院理工、3.総研大)

キーワード：真空

我々は、無酸素Pd/Tiを利用した新しい非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプを開発した。本NEGポンプの特長は、 1) 125～150℃、6時間ベーキングで水素と一酸化炭素を排気する、 2) 大気導入とベーキングを繰り返しても排気速度が低下しない、3) 電流導入、専用電源が不要、4) 無振動、無騒音、軽量、活性化時以外では電力を使わない、などである。