[21a-PA3-1~7] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[21a-PA3-6] 蒸着中の原料状態がBaSi₂薄膜の品質に与える影響

〇(M1)西尾 聡馬¹、内藤 友紀¹、西野 克志¹ (1.徳島大)

キーワード：バリウムシリサイド