[21a-PB1-1~86] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[21a-PB1-59] Characterization of the crystallinity for MoS₂ sputtered films

〇Noriyuki Hasuike¹, Sho Yamauchi¹, Koji Nishio¹, Susumu Kamoi², Kenji Kisoda³ (1.Kyoto Inst. Tech., 2.Kyoto Pref. Tech. Center, 3.Wakayama Univ.)

Keywords:Molybdenum disulfide, Raman scattering spectroscopy, Energy dispersive x-ray spectroscopy

MoS₂スパッタ膜の結晶性には成膜温度の上昇による格子周期性の向上と、硫黄の高い蒸気圧による硫黄原子の脱離が起こす欠陥密度の増加の両方が密接に影響すると考えられる。本研究では、スパッタ成膜直後(未熱処理)のMoS₂薄膜に対し、エネルギー分散型X線分光(EDX)による[S]/[Mo]組成比評価とラマン散乱分光による結晶性評価の結果を比較検討した。