2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[21a-PB1-1~86] 17 ナノカーボン(ポスター)

2019年9月21日(土) 09:30 〜 11:30 PB1 (第二体育館)

09:30 〜 11:30

[21a-PB1-61] Characterization of top-gate MoS2 MOSFETs with PEALD-ZrO2 gate dielectric

WENHSIN CHANG1、Naoya Okada1、Hidehiro Asai1、Koichi Fukuda1、Mitsuhiro Okada1、Takahiko Endo2、Yasumitsu Miyata2、Toshifumi Irisawa1 (1.AIST、2.TMU)

キーワード:MoS2, Top-gate, MOSFET