[21a-PB1-1~86] 17 ナノカーボン（ポスター）

[21a-PB1-8] ArとC₂H₂ガス流量混合比がCNT成長に及ぼす影響

〇中本 啓志¹、森 健斗¹、川上 紘輝¹、關 雅志²、李 相錫¹、松永 忠雄¹ (1.鳥取大工、2.東芝テック株式会社)

キーワード：カーボンナノチューブ、Ni触媒層、ArとC2H2ガス流量混合比

大気中に含まれる揮発性有機化合物(Volatile Organic Compounds：VOC)ガス成分を検知する方法に関心が集まっている。これらは人体に悪影響を与える原因であるため、濃度把握が必要である。CNT (Carbon Nanotube： CNT)の物理吸着をガスセンサに応用するために、再現性が高いCNT生成実験を行っている。自作の生成装置を用いて熱CVD法で生成する。作製条件は750℃で設定し、アセチレンとアルゴンガスの混合比を変化させ、得られたCNTの比較を行う。