[21a-PB1-1~86] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[21a-PB1-8] Influence of Ar/C₂H₂ gas flow ratio on CNT growth

〇Keiji Nakamoto¹, Kento Mori¹, Hiroki Kawakami¹, Seki Masashi², Sang-Seok Lee¹, Tadao Matsunaga¹ (1.Tottori Univ., 2.Toshiba TEC Corp., Corporate R&D Center)

Keywords:Carbon Nanotube, the thickness of Ni film, Ar/C2H2 gas flow ratio

大気中に含まれる揮発性有機化合物(Volatile Organic Compounds：VOC)ガス成分を検知する方法に関心が集まっている。これらは人体に悪影響を与える原因であるため、濃度把握が必要である。CNT (Carbon Nanotube： CNT)の物理吸着をガスセンサに応用するために、再現性が高いCNT生成実験を行っている。自作の生成装置を用いて熱CVD法で生成する。作製条件は750℃で設定し、アセチレンとアルゴンガスの混合比を変化させ、得られたCNTの比較を行う。