[21p-C310-1~4] 6.4 Thin films and New materials

[21p-C310-2] Investigation of active species in a non-equilibrium two-dimensional plasma to prepare TiO₂ thin films

〇Shinji Mayumi¹, Minato Sawamura¹, Junpei Sagisaka¹, Ryosuke Okumura¹, Masayuki Okuya¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:non-equilibrium two-dimensional plasma, TiO2

本研究グループでは非平衡二次元プラズマに注目した。非平衡二次元プラズマの特徴を利用することで、この現象を低融点材料の表面処理技術だけでなく、製膜技術へ応用することが期待できる。本研究グループでは、これまでに大気圧下における非平衡二次元プラズマを利用したSnO₂やZnOの製膜を報告した。本研究では、光触媒や色素増感太陽電池への応用が期待されているTiO₂の製膜を非平衡二次元プラズマの利用により試みた。同時に、雰囲気制御により、酸化物薄膜の形成に有効なプラズマ活性種の検討を行った。