11:45 〜 12:00 [11a-W351-11] [講演奨励賞受賞記念講演] スパッタBiFeO3薄膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の高効率・高出力化 〇荒牧 正明1、吉村 武1、村上 修一2、佐藤 和郎2、藤村 紀文1 (1.大阪府大工、2.大阪技術研)