13:45 〜 14:00 [9p-S221-1] [講演奨励賞受賞記念講演] ZrO2 による EOT スケーリングを用いた Planar-type 量子井戸 InGaAs TFET の性能向上 〇安 大煥1、尹 尚希1、加藤 公彦1、福井 太一郎1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東大院工)