15:45 〜 16:00 [12p-W541-8] GaNに格子整合する組成近傍の四元混晶AlGaInNエピタキシャル膜の成長とその結晶評価 〇原田 紘希1、三好 実人1、江川 孝志1、竹内 哲也2 (1.名古屋工業大学、2.名城大学)