15:30 〜 15:45 [12p-W541-7] AlInNエピタキシャル膜のSiドーピングによる導電性制御 〇(M1)山中 瑞樹1、三好 実人1、江川 孝志1、竹内 哲也2 (1.名工大、2.名城大)