09:30 〜 11:30 [11a-PA5-5] アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその評価Ⅲ 〇(PC)市村 進1、水流 一平2、大久保 大地2、松尾 英明2、後藤 峰男2 (1.名古屋産業振興公社、2.中日本炉工業 株式会社)