11:30 〜 11:45 △ [10a-M121-10] NH3/H2雰囲気下での選択熱分解法のGaN HEMT電気特性への影響 〇吉屋 佑樹1、星 拓也1、杉山 弘樹1、松崎 秀昭1 (1.NTT先端集積デバイス研)