09:30 〜 11:30 △ [9a-PA1-1] 3ω法(熱伝導率測定)におけるpolyimide絶縁膜の有効性と界面熱抵抗の評価 〇森 凌太郎1、黒川 拓也1、田中 三郎2、宮崎 康次3、高尻 雅之1 (1.東海大院工、2.日大工、3.九州工大工)