09:45 〜 10:00 [10a-M114-4] 短時間照射FLAによるPoly-Siの高活性化技術 〇繁桝 翔伍1、谷村 英昭1、布施 和彦1、青山 敬幸1、加藤 慎一1、野崎 仁秀1 (1.SCREENセミコンダクターソリューションズ)