諸橋信一

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発表者・著者、共著者

2019年3月12日(火) 09:00 〜 12:45 W641 (W641)

一般セッション(口頭講演)
| 8 プラズマエレクトロニクス
| 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:30 〜 11:45

[12a-W641-10] RF-DC結合電源を用いたハイブリッド対向スパッタによるITO薄膜作製II
-スパッタ電圧の可動棒磁石移動距離依存性-

〇諸橋信一¹ (1.山口大学)