14:15 〜 14:30 [11p-W641-3] 【注目講演】プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ~結晶シリコン内の水素と欠陥~ 〇布村 正太1、坂田 功1、松原 浩司1 (1.産総研太陽光発電研究センター)