13:30 〜 15:30 △ [11p-PA6-1] Siウェーハ表面近傍における金属原子の安定性と拡散障壁に関する第一原理解析 〇(M1)野々田 典敬1、末岡 浩治2 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工)