09:30 〜 09:45 [10a-W541-3] MOVPEリアクタ内におけるCp2Mgの温度依存性 〇佐藤 陽子1、林 大介1、南 雅和1、村松 昇2、岩谷 素顕2 (1.堀場エステック、2.名城大学)