14:45 〜 15:00 △ [11p-S011-5] パルスエキシマレーザー照射によるβ-Ga2O3薄膜の室温固相エピタキシーにおける結晶化過程の評価 〇(M1)森田 公之1、大賀 友瑛1、土嶺 信男2、金子 智3,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.豊島製作所、3.神奈川県産技総研)