16:15 〜 16:30 △ [12p-W541-10] 高品質AlInN/GaN多層膜反射鏡のためのその場観察反り測定 〇(M1)平岩 恵1、村永 亘1、岩山 章1、竹内 哲也1、上山 智1、岩谷 素顕1、赤﨑 勇1,2 (1.名城大理工、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター)