15:00 〜 15:15 △ [11p-S011-6] PLD法による窒素ドープ酸化ガリウム薄膜の成長と電気特性評価 〇李 政洙1、若林 諒1、斉藤 拓海1、吉松 公平1、加渡 幹尚2、大友 明1,3 (1.東工大物質理工学院、2.トヨタ自動車、3.元素戦略)