16:00 〜 18:00 [10p-PA8-10] プラズマCVD におけるグラフェン成長初期過程の偏光解析モニタリング 〇林 康明1、野々村 秋人1、川上 栞生1、三瓶 明希夫1、中野 美尚2、塚原 尚希2、村上 裕彦2 (1.京都工繊大、2.アルバック未来研)