11:30 〜 11:45 [9a-W611-8] SiN/AlO/Si膜の電界効果パッシベーションのLTEMによる評価 〇望月 敏光1、伊藤 明2、棚橋 克人1、中西 英俊2、川山 巌3、斗内 政吉3、白澤 勝彦1、高遠 秀尚1 (1.産総研、2.SCREEN、3.阪大レーザー研)