17:15 〜 17:30 [11p-W641-14] エッチングレート面内分布に対する誘導結合型小径アンテナ形状の影響 〇杉本 雄太1、山華 雅司1、岡本 芳枝2、吉森 大晃2、東野 秀史2 (1.東芝、2.芝浦メカトロニクス)