13:45 〜 14:00 [12p-M111-2] CMOSイメージセンサ向け分子イオン注入エピタキシャルウェーハの製品特性(Ⅰ)-水素脱離挙動の反応速度論解析- 〇奥山 亮輔1、柾田 亜由美1、鈴木 陽洋1、小林 弘治1、重松 理史1、廣瀬 諒1、門野 武1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)