16:00 〜 18:00 [9p-PB3-27] シルセスキオキサン含有高分子ナノシートを利用した多孔性SiO2超薄膜の細孔径制御 〇石崎 裕也1、山本 俊介1、宮下 徳治1、三ツ石 方也1 (1.東北大多元研)