16:00 〜 18:00 △ [10p-PA7-8] スパッタリングで形成したTa薄膜における電気抵抗率の歪み誘起1/f雑音 〇(B)上杉 良太1、小峰 啓史1、水野 将臣1、安藤 亮2、赤羽 秀郎1 (1.茨城大学、2.ITIC茨城)