14:00 〜 14:15 [11p-W541-3] スパッタ法により形成したサファイア上SiドープAlNの電気特性 〇櫻井 悠也1、上野 耕平1、小林 篤1、上杉 謙次郎2、三宅 秀人2、藤岡 洋1,3 (1.東大生研、2.三重大、3.JST-ACCEL)