14:00 〜 14:15 [12p-W541-2] ナノPSS上スパッタ堆積アニールAlN膜を基板に用いたホモエピ成長 〇伊庭 由季乃1、正直 花奈子2、上杉 謙次郎3、肖 世玉4、三宅 秀人2,4 (1.三重工、2.三重大院工、3.三重大地域創生戦略企画室、4.三重大院地域イノベ)