14:30 〜 14:45 [12p-W541-4] 高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレート上のAlGaN成長 〇上杉 謙次郎1、正直 花奈子2、林 侑介3、三宅 秀人2,3 (1.三重大地域創生戦略企画室、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)