09:00 〜 09:15 [11a-M121-1] GaN中への窒素によるMgのリコイルインプランテーションの試み(3) 〇山田 寿一1、山田 永1、長南 紘志1、田岡 紀之1、高橋 言緒1、清水 三聡1,2 (1.産総研、2.名大工)