10:00 〜 10:15 [9a-M114-5] ミニマルファブで作成したコンタクト抵抗のばらつき評価 〇加瀬 雅1、佐藤 和重2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産業技術総合研究所、2.ミニマルファブ推進機構、3.坂口電熱株式会社)