10:15 〜 10:30
▲ [10a-W541-6] Dependence of TMAl preflow condition on GaN growth on surface carbonized Si substrates
〇Yifu Zhu1、Takeshi Momose1、Yukihiro Shimogaki1、Momoko Deura1 (1.Univ. of Tokyo)
2019年3月10日(日) 09:00 〜 12:15 W541 (W541)
10:15 〜 10:30
〇Yifu Zhu1、Takeshi Momose1、Yukihiro Shimogaki1、Momoko Deura1 (1.Univ. of Tokyo)