15:15 〜 15:30 △ [12p-M111-8] 電子線照射発光活性化室温PL法によるシリコン結晶中の炭素定量の誤差要因の検討 〇石川 陽一郎1、田島 道夫1、松岡 竜太郎1、小椋 厚志1 (1.明治大理工)