11:45 〜 12:00 △ [9a-S421-11] 溶液プロセスによるバイオセンサ用Active Matrix酸化物TFTアレイの作製 〇栗谷川 翔1、Phan Tue1、下田 達也1、高村 禅1 (1.北陸先端大)