16:00 〜 18:00 [9p-PA4-8] SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成 〇(M2)篁 佑太1、高柳 真司2、柳谷 隆彦3、松川 真美1 (1.同志社大、2.名工大、3.早大)