TsungEn Lee

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発表者・著者、共著者

2019年3月11日(月) 13:15 〜 17:15 M136 (H136)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.3 絶縁膜技術

[11p-M136-1~14] 13.3 絶縁膜技術

15:15 〜 15:30

▼ [11p-M136-8] Impact of metal gate electrodes on electrical properties of Y₂O₃/Si_0.78Ge_0.22 gate stacks

〇(D)TsungEn Lee¹、Mitsuru Takenaka¹、Shinichi Takagi¹ (1.Univ. of Tokyo)