11:00 〜 11:15 [9a-M114-9] ダイヤモンドウェハのミニマルファブへの応用 〇根本 一正1、田中 宏幸1、野田 周一1、三浦 典子2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)