The 66th JSAP Spring Meeting, 2019

Exhibitors' information

[Z-5] TEGA Science, Inc.

■モジュール式真空薄膜成膜システム ■電子ビーム蒸着源 ■サーマルガスクラッカー ■ナノクラスターソース ■RFアトムソース ■RFイオンソースなど