出展者情報

[T-3] ALDジャパン(株)

■原子層堆積装置（ALD装置、基板用と粉体用、メーカー：Anric Technologies社, Delft IMP社, CN1社）
■真空蒸着やALD用膜厚モニター（QCM, Max. 500℃、メーカー：Colnatec社)