2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[M-12] (株)神戸製鋼所

■機能性薄膜材料および成膜装置の開発・研究事例を紹介します。合金薄膜配線材料/フレキシブル向け合金薄膜/酸化物半導体/ロールツーロール成膜装置など
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