2019年第66回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[Z-16] イノベーションサイエンス(株)

イノベーションサイエンス(株) ■大気圧プラズマ分析装置モデルHPR-60
■プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計モデルEQP
■ラングミュアプローブモデルESPION
■コンパクト型二次イオン質量分析計モデルCompact SIMS
■自動昇温脱離ガス分析装置モデルTPD Workstation、TPD、TDS
■残留ガス四重極質量分析計QMS
■イオンミリング用エンドポイントディテクターEPD
■大気圧ガス...

[T-3] ALDジャパン(株)

■原子層堆積装置(ALD装置、基板用と粉体用、メーカー:Anric Technologies社, Delft IMP社, CN1社)
■真空蒸着やALD用膜厚モニター(QCM, Max. 500℃、メーカー:Colnatec社)

[V-15] AOV(株)

■1. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置
■2. 真空蒸着用基板加熱機構(赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等)
■3. 複合型PLD/MBE蒸着装置
■4. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

[T-1] SPPテクノロジーズ(株)

SPPテクノロジーズ(株) ■SPPテクノロジーズが取り扱っていますMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。