■真空低温プローバー ■抵抗率測定装置

■精密・超精密位置決め機器 ■フォースセンサ

■本事業は、大学・研究機関の保有する最先端のナノテクノロジー研究設備・技術を広く公開し、どなたでも研究・開発にご活用いただけるサービスです。利用事例や支援の仕組についてご紹介させていただきます。

■紫外・深紫外レーザー走査ラマン顕微鏡 RAMANtouch vioLa

■エレクトロケミカルCVプロファイラー
■ホール効果測定装置
■フォトルミネッセンスマッピングシステム
■FT-IRシステム ■分光反射率式膜厚測定システム

■高速多光子励起フォトルミネッセンス顕微鏡システム

■真空ポンプ ■真空計

■高感度冷却型CCD, EMCCD, sCMOS, emICCD検出器, 無収差型分光器, ラマン分光システム

■【新製品】高出力レーザ加熱型単結晶育成装置（Laser FZ furnace）
■QD社製 無冷媒シリーズ（MPMS3、PPMSシリーズ）
■液体ヘリウムリカバリー装置
■DMO社製 小型LED直接描画装置・超高感度カー効果測定装置
■SwissLitho社製 サーマル走査プローブ描画装置
■RHK社製 無冷媒型極低温AFM/STM
■GETec社製 原子間力走査型電子顕微鏡：AFSEM
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■分光エリプソメーター ■FTIR ■ライフタイム測定装置 ■DLTS ■半導体検査装置 ■CV測定装置

■卓上型走査電子顕微鏡

■レーザラマン分光光度計 ■多目的FTIR

■小型プローバ、他

■小型磁区観察顕微鏡 Neomagnesia Lite
■マスクレス露光装置 PALET
■デュアルコム ファラデー効果測定装置　(参考出品)
■サニャック干渉計振動観察装置