[Z-16] イノベーションサイエンス(株) ■大気圧プラズマ分析装置モデルHPR-60■プラズマイオンエネルギーアナライザー付質量分析計モデルEQP■ラングミュアプローブモデルESPION■コンパクト型二次イオン質量分析計モデルCompact SIMS■自動昇温脱離ガス分析装置モデルTPD Workstation、TPD、TDS■残留ガス四重極質量分析計QMS■イオンミリング用エンドポイントディテクターEPD■大気圧ガス... ブックマーク
[T-3] ALDジャパン(株) ■原子層堆積装置(ALD装置、基板用と粉体用、メーカー:Anric Technologies社, Delft IMP社, CN1社)■真空蒸着やALD用膜厚モニター(QCM, Max. 500℃、メーカー:Colnatec社) ブックマーク
[V-15] AOV(株) ■1. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置■2. 真空蒸着用基板加熱機構(赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等)■3. 複合型PLD/MBE蒸着装置■4. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置 ブックマーク
[T-1] SPPテクノロジーズ(株) ■SPPテクノロジーズが取り扱っていますMEMS・半導体製造に不可欠なSi深掘り装置(DRIE)をはじめ、犠牲層エッチング装置、SiCエッチング装置や化合物/酸化膜エッチング装置、プラズマCVD装置、PVD装置、分子膜成膜装置(MVD)、熱処理装置、ミニマル装置など各種製造装置をご紹介します。 ブックマーク
[T-14] (公財)大田区産業振興協会 ■大田区ものづくり企業3500社の中から、研究開発や試作、難加工を得意とする企業をご紹介します(無料)。共同研究・試作発注先等について、まずはご相談ください! ブックマーク