[10a-70A-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[10a-70A-3] 4H-SiC(0001)上のエピタキシャル原子層アルミニウム酸化膜

〇尾家 翔太郎¹、梶原 隆司¹、ビシコフスキー アントン¹、白澤 徹郎²、飯盛 拓嗣³、小森 文夫³、田中 悟¹ (1.九大院工、2.産総研、3.東大物性研)

キーワード：SIC