[10a-M121-1~10] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [10a-M121-10] NH₃/H₂雰囲気下での選択熱分解法のGaN HEMT電気特性への影響

〇吉屋 佑樹¹、星 拓也¹、杉山 弘樹¹、松崎 秀昭¹ (1.NTT先端集積デバイス研)

キーワード：窒化ガリウム、GaN HEMT、選択熱分解法