[10a-M136-1~9] CS.1 3.2 材料・機器光学、12.3 機能材料・萌芽的デバイスのコードシェアセッション

△ [10a-M136-3] 宙吊り構造を導入した高分子ベース空間光変調器の大変位・高速動作制御

〇英 祐輝¹、生田 昂¹、前橋 兼三¹ (1.農工大院工)

キーワード：高分子、空間光変調器

宙吊り高分子膜（PDMS）を用いた空間光変調器について報告する。デバイスを動作させてその応答を測定し、微小変位の制御に対応する応答を検出できた。また、動作変位を測定し、最大で７００ｎｍの変位が得られた。以上から宙吊りPDMSを用いた空間光変調器の作製およびその大変位動作を実証することができ、この結果から赤外光通信への応用が期待できる。