[10a-PA2-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[10a-PA2-3] 可視光OCTによる半導体薄膜構造の非破壊内部観察

〇石田 一将¹、尾崎 信彦¹、池田 直樹²、杉本 喜正² (1.和歌山大シス工、2.物材機構)

キーワード：光干渉断層計、非破壊観察、半導体薄膜構造